微纳平台占地12000平方米，其中洁净室面积6000平方米，已建成6英寸研发线和8英寸验证线各一条，配备165台（套）高端精密设备。

　　8英寸验证线的开通，“不仅是从‘6英寸’到‘8英寸’的尺寸升级，更是从‘概念验证’到‘工程验证’的能力跃迁。”甬江实验室主任崔平说，这标志着微纳平台体系化能力的正式形成。

　　半个多世纪以来，摩尔定律犹如一座灯塔，指引着半导体产业持续飞速发展。然而，随着晶体管尺寸逼近原子极限，传统“微缩”路径已难以为继，“异质异构集成技术”正是应对这一挑战的创新方案，也是实现半导体产业“变道超车”的战略抓手。

　　何谓异质异构？崔平作了个形象的比喻，“如果说传统的半导体设计是二维微雕大师，那异质异构就是‘三维建筑师’。我们不再执着于用一种材料建造整栋大楼，而是博采众长：让硅芯片主要负责计算，让化合物半导体主要负责光电与通信，各种器件各司其职，通过先进封装与三维集成技术，构建出高效协作的立体系统。”

　　“这就像搭乐高。”甬江实验室微纳平台技术负责人张瓦利表示，异质异构集成技术，不再执着于把所有功能都塞进一块芯片，而是让不同材料、不同功能的芯片“自由组合”，组成更强大、更高效的系统。

　　张瓦利说：“即便是28纳米级芯片，通过集成工艺，也能发挥出14纳米级芯片的性能。”

　　走进甬江实验室微纳平台，未来感、科技感顿时拉满。上百台高端精密设备“高冷”而神秘，穿着白色防护服的研发人员来回穿梭，仿佛进入了科幻电影里的场景。

　　目前，微纳平台已构建一个开放共享的基础设施、一个中立可信的赋能平台、一个链接产学研用的创新枢纽。“今后将与企业共同探索从中试走向量产的可行路径，为产业提供最需要、最关键的临门一脚。”

　　先进验证线，是团队拼出来的。“买设备不难，全链条布局、全链条调通，很难很难。”张瓦利说。

　　此次通线的验证线，覆盖材料外延、晶圆制造、芯片加工、封装测试、器件模块可靠性分析全链条。每一道工艺、每一个器件都要反复调试优化，然后实现全流程打通。

　　“单是化学剂抛光这一个工艺，我们调试就用了300片8寸晶圆，其间我们又进行了几十次实验设计，迭代了很多次器件设计，做了上千个工艺表征。”张瓦利说。

　　65人的科研团队，全身心扑在实验室，“死磕”验证线。

　　早上8时到实验室，晚上10时多离开。那几个月，不少人的平均工作时长接近14个小时，节假日也不例外……团队靠不懈努力，用一年时间，拼出“国内领先”。

　　崔平表示，集成电路是宁波重点布局的新兴产业、前沿产业和标志性产业。作为省市重大科创平台，甬江实验室必须以一流的设备、专业的人才，赋能每一位企业家、科学家、科创者，赋能宁波半导体产业高水平、高质量发展。

　　张瓦利表示，一个强有力的科研平台往往会催生产业创新生态的加速构建。“以苏州纳米所为例，成立十余年来已在当地集聚一大批优质半导体企业，宁波制造业基础雄厚、开放创新意识强，期待通过信息材料与微纳器件制备平台的建设，为当地打造更优的半导体创新生态。”

　　宁波市镇海区委书记、宁波石化区党工委书记林斌认为，8英寸验证线正式通线，不仅打破了“科学发现与工程转化”的壁垒，更以开放共享的中立姿态，成为产学研协同攻关的“硬核支撑”，必将为异质异构集成技术突破提供关键引擎，为宁波乃至全国集成电路产业高质量发展注入强劲动能。成良田  李芮