“简单来说，光罩就是把芯片线路设计图刻画下来，做成一个‘几何缩小版’，下游芯片企业再通过光刻工艺，将光罩上的设计图形精确复制到硅片上，从而实现集成电路的制造。”据介绍，光罩是集成电路从设计到制造的关键第一步，但由于芯片生产技术长期被国外“卡脖子”，中国集成电路企业使用的大部分光罩片都依赖进口。在目前的半导体光罩市场中，国产光罩替代率尚不足20%，市场前景非常广阔。

　　“经过半年多的产能爬坡，公司每月的产能已经达到了六七百片，目前还在持续扩充产能，预计今年年底达到第一期的满产。”自2023年3月17日土地摘牌后，兴华芯（绍兴）半导体科技有限公司13天内就拿到了施工证并开工，一年后产出首张样片。去年9月，兴华芯（绍兴）半导体科技有限公司进入全面生产。“目前，我们正在规划二期生产线，满产后光罩每个月产能将达到3000片。”公司总经理曾振瑞说。

　　一张方方正正犹如水晶板的光罩，却是集成电路从设计端到制造端的桥梁，也让客商实地感受到这家浙江未来独角兽TOP100企业的新质生产力。原来，光罩的生产工艺非常复杂，先把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，最后经过脱模、清洗和检验等十几道工序才能制作成光罩片。

　　“光罩的生产难点主要在它的关键尺寸和其本身的位置，因为光罩生产过程中，最细到纳米级的线条，只要有一点点的偏差或者位置的移动，都会导致整片光罩要重新生产。”经过兴华芯公司研发团队一年多的努力，目前产出的光罩已成功突破40纳米，也完成了省产业链协同创新项目28纳米的项目，预计明年将突破到20纳米以内。

　　“如今，我们拥有了高阶光罩工艺核心技术，自主研发生产的光罩片质量可以比肩国际大公司产品，实现‘国产替代’已势不可挡。”柯桥区科技局相关负责人表示。钟伟  陈丹梅