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00002版:【要闻】

以12英寸高端芯片工艺研发为核心

青山湖微纳技术研发开放平台启用

  本报讯 微纳产业发展论坛暨青山湖微纳技术研发开放平台启用仪式日前在杭州青山湖微纳智造小镇举行。现场,青山湖微纳技术研发开放平台正式启用,平台总投资25亿元。

  青山湖微纳智造小镇位于青山湖科技城,规划面积3.17平方公里,以特色工艺晶圆制造、芯片设计封装测试、半导体关键装备制造和智能终端与物联网应用集成为产业方向。小镇自2018年1月16日启动建设以来,已入驻集聚了包含国家重大专项01专项、02专项在内的31个微纳产业项目,总投资257亿元。目前已吸引了13名“千人计划”人才和400多名微纳产业相关专业人才,初步形成芯片设计、制造、设备、封测、材料等完整产业链。青山湖微纳智造小镇已纳入《浙江省新一代人工智能发展规划》,成为全省集成电路产业提升发展的重点支持地区之一。

  青山湖微纳技术研发开放平台是国内首个以12英寸特色高端芯片工艺研发为核心,覆盖通用芯片设计和测试服务的开放性平台,其主要功能包括电路设计、工艺研发、小批量产、测试分析等。目前,该平台已拥有光刻机等60多台套关键设备、2300平方米洁净室、核心技术骨干专家170余人,可为集成电路企业提供技术研发、创新平台和小批量量产、中试等服务。

  据介绍,平台在运营初期将实施一定优惠政策。比如,购买集成电路相关服务,青山湖科技城企业可享受35%优惠,浙江省内企业可享受30%的优惠,其他企业可享受15%的优惠。

  会上,中电海康集团作为开放平台运营方与浙江大学、杭州电子科技大学、江苏鲁汶仪器有限公司等7家单位签订合作协议,将与青山湖微纳技术研发开发平台共同构建青山湖微纳智造小镇集成电路产业生态,支撑小镇基础科研,打造活跃创新基地。

  中电海康相关负责人介绍,目前我国在芯片设计领域并不逊色于国际同行,但在制造和生产能力上还有很大的差距。而流片(借助于流水线的生产工艺步骤制造芯片)的高成本是制约芯片制造产业发展一个很重要的因素之一,该平台的启用,可为科研单位和中小企业在电路设计、工艺研发、小批量产、测试分析等方面提供低成本的服务。

  启用仪式上,还举行了微纳产业发展论坛。包括中科院院士都有为、中科院物理所研究员韩秀峰在内的全国十余位知名专家学者与青山湖科技城的企业、高校、研究院所等200余名代表共同分享了微纳产业的发展现状、机遇与挑战。

  杭州市临安区区委书记卢春强在致辞中说,作为全省重大创新平台,青山湖科技城抢抓城西科创大走廊建设机遇,聚焦聚力以集成电路产业发展为主攻方向的微纳智造小镇。平台的开放启用,标志着临安在集聚集成电路领域创新资源、推动重大科技基础设施融合发展上迈出了关键一步。

  浙江省科技厅副巡视员叶翠萍表示,以特色工艺为主的微纳技术研发开发平台,是打造中国新型高端存储器基地、浙江省集成电路产业高地的重要一步。秦三富


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